序号

货物名称

数量

单位

技术参数摘要

预算单价

（万元/人民币）

单项预算合计（万元/人民币）

1

自动精密研磨抛光机

2

台

1.超平抛光盘，平面度为每(略)mm*(略)mm：(略)

4.(略)

8.(略)

2

平面波导器件对准观察设备

1

台

1.六维调整架 (左手系；行程：(略)

……

4.(略)

4.(略)

3

波导分析计

1

台

1.功率计控制台,≥4英寸背光数字显示器，(略) x (略)像素分辨率;

……

5.(略)

5.(略)

4

飞秒激光直写集成一体机

1

台

▲1.频率：(略)

……

(略).(略)

(略).(略)

5

高精度位移平台

1

台

包含(略)×(略)×(略)mm三轴定位系统，X/Y/Z轴定位精度+-3um,重复定位精度+-1um。

(略).(略)

(略).(略)

6

飞秒衰减分光器

2

台

P/S偏振分光衰减，可以分离P和S光，衰减分光范围2%-(略)%，电动控制

5.(略)

(略).(略)

7

飞秒激光光路传输片

1

台

▲1. LowGDD、(略)度(略)nm 飞秒反射镜 ……

(略).(略)

(略).(略)

8

激光加工监控系统

1

台

▲1.定制化成像模块 像素：(略)

(略).(略)

(略).(略)

9

精密光学隔振平台

2

台

1.尺寸：(略)

……

3.(略)

6.(略)

(略)

高速示波器

1

台

▲1.带宽：(略)

(略).(略)

(略).(略)

预算合计金额（人民币大写）查看完整内容>>